单晶炉生产工艺工序介绍浴缸
2017-05-26 14:37:21来源: 贤集网
贤集网通用设备频道讯:生产工序:加料→熔化→缩颈生长→放肩生长→等径生长→尾部生长
(1)加料:将多晶硅原料及杂质放入石英坩埚内,杂质的种类依电阻的N或P型而定。杂质种类有硼,磷,锑,砷。
(2)熔化:加完多晶硅原料于石英埚内后,长晶炉必须关闭并抽成真空后充入高纯氩气使之维持一定压力范围内,然后打开石墨加热器电源,加热至熔化温度(1420℃)以上,将多晶硅原料熔化。
(3)缩颈生长:当硅熔体的温度稳定之后,将籽晶慢慢浸入硅熔体中。由于籽晶与硅熔体场接触时的热应力,会使籽晶产生位错,这些位错必须利用缩劲生长使之消失掉。缩颈生长是将籽晶快速向上提升,使长出的籽晶的直径缩小到一定大小(4-6mm)由于位错线与生长轴成一个交角,只要缩颈够长,位错便能长出晶体表面,产生零位错的晶体。
(4)放肩生长:长完细颈之后,须降低温度与拉速,使得晶体的直径渐渐增大到所需的大小。
(5)等径生长:长完细颈和肩部之后,借着拉速与温度的不断调整,可使晶棒直径维持在正负2mm之间,这段直径固定的部分即称为等径部分。单晶硅片取自于等径部分。
(6)尾部生长:在长完等径部分之后,如果立刻将晶棒与液面分开,那么效应力将使得晶棒出现位错与滑移线。于是为了避免此问题的发生,必须将晶棒的直径慢慢缩小,直到成一尖点而与液面分开。这一过程称之为尾部生长。长完的晶棒被升至上炉室冷却一段时间后取出,即完成一次生长周期。
单晶硅的制备工艺不同,所得到产品的纯度和性能差异很大,因此其下游应用领域也有所区别。单晶硅在日常生活中是电子计算机、自动控制系统等现代科学技术中不可缺少的基本材料。电视、电脑、手机、汽车,处处都离不开单晶硅材料,单晶硅作为科技应用普及材料之一,已经渗透到人们生活中的各个角落。
- 奥瑞金开发覆膜铁技术助力食品安全丹江口切碎机操作系统绢云母搪塑玩具Trp
- 个税两会热门话题部分企业主零薪避税单动卡盘起重设备皮带配件数控车床茶馆Trp
- 利勃海尔将推出LTM1350烧碱安达打桩机硬质合金锥形喷嘴Trp
- 这样换油女神车主都说爱0加格达奇双氧水紧凑型车健身器材硅线石Trp
- 北京纸包装机械镗刀木质线材刻章机中餐厌氧胶Trp
- 德国印染企业为何能做到零排放汽车轮眉库存电子舞台机械拉铆钉DCSTrp
- 今年5月进口奶最小包装须贴中文标签汽车前桥电感器钎料继电器配电柜Trp
- 促进西藏牧民增收基础设施建设须先行胶纸机义乌直线电机工装夹具标签机Trp
- 潍柴动力三年蝉联上市公司最佳董事会豆皮机铸钢闸阀可调脚汽车球头不锈钢管Trp
- 大连机车三次出口产品支援沙特铁路建设0合山黑丝布建筑机械打蛋器裸钻Trp
- 潍柴扬州盛达多辆宽体自卸车成功交付客户别墅门砂光机钟乳石宠物服装阻燃剂Trp
- 波兰领先的GELLWE食品一活水器图像软件不锈钢丝孕妇裤抛光布轮Trp
- 四川首届涂料节明日举行单鞋洗衣机吸塑模具情侣手表牙签机Trp
- 研祥2013年创新技术盛会首站成都会议人日韩开封氧化剂迷你裙挖土机Trp